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wafer debonder晶圆键合机【解键合】

发布时间:2022-01-13 16:18:02  浏览:36

wafer debonder晶圆键合机【解键合】




wafer debonder晶圆键合机【解键合】特点:
4”-8”/8”-12”晶圆适用,可应对薄晶圆的解键合。
解键合机智能测绘料篮内晶圆,兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。
解键合机可对已键合晶圆进行自动校正。
可定制真空热压/UV/激光等方式实现解键合【Wafer Debonding】。
晶圆解键合机配有高精度机械手,可自动撕除晶圆临时键合所用到的胶膜。
解键合机可自动为晶圆贴覆切割膜。
可选配嵌入式紫外线照射。
工控机+Windows系统。
SECS/GEM 或简易联网能力。


wafer debonder晶圆解键合机规格参数:
晶圆尺寸                          4”-8”/8”-12”
支持基板                          玻璃
激光/UV/加热器          可选
晶圆切割膜覆盖          搭载
解键合机撕膜          搭载
晶圆盒形式          兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料
其他                           SECS/GEM 或简易联网能力


了解更多:http://www.hapoin.com/wafer_bonding_debonding/



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